Основные технологические процессы используемые при создании приборов квантовой электроники

Содержание

Введение 2

1 Технологии получения тонких пленок 3

1.1Термическое вакуумное напыление 3

1.2 Ионное (катодное) распыление 3

1.3 Эпитаксия из газовой фазы 3

1.4 Жидкостная эпитаксия 3

1.5 Молекулярно-лучевая эпитаксия 3

1.6 Применение ионных пучков для выращивания

тонких аморфных пленок 3

2 Золь-гель-технологии и их применение для выращивания тонких пленок 3

2.1 Коллоидное состояние вещества. Дисперсные системы. 3

2.2 Физический и химический гель.Их получение 3

2.3 Мицеллярная теория строения коллоидных растворов 3

3 Физическая теория устойчивости коллоидных систем 3

3.1 Методы получения золей 3

3.2 Превращение золя в гель 3

Список литературы 3

Введение

Фундамент современной микроэлектроники составляет планарная технология. Несущей конструкцией всей микросхемы является подложка. На эту подложку в различных комбинациях и в требуемом количестве наносятся полупроводниковые, проводящие и изолирующие слои, в которых создаются требуемые конфигурации и топологические рисунки. Толщина этих слоев колеблется в зависимости от технологических требований от 0,05 до 1 ..2 мкм.

Создание высокоточного прецизионного топологического рисунка в тонких, субмикронных (по толщине) слоях сейчас является наиболее сложной задачей микро- и нанотехнологии. Микротехнология имеет дело с элементами микросхем, размер которых превышает 1 мкм; субмикронная технология — 0,1... 1,0 мкм; нанотехнология — менее 0,1 мкм.

Если бы темпы микроминиатюризации сохранились до 2010 г., то транзистор уменьшился бы до размеров вируса, его рабочая частота сравнялась бы с частотой колебаний атомов в решетке кристалла, число транзисторов в одной интегральной схеме (ИС) достигло бы триллиона, а рекордные размеры литографического рисунка достигли бы величины, в 10 раз меньшей размеров атома. В реальной жизни такие чудеса пока не достигнуты, но поскольку рубеж 0,1 мкм в промышленности практически преодолен, это дает определенное право говорить о свершившимся переходе от микротехнологии к нанотехнологии (от гр. нанос — карлик), которая оперирует размерами порядка нанометра (1 нм = 10-9 м = 10 А).

Считается, что нанотехнология позволит создавать практически любые изделия — от вычислительных машин сверхвысокой производительности до искусственных органов человека, причем, чем дальше уче-ные от практической деятельности в области нанотехнологии, тем смелее и масштабнее генерируемые ими прогнозы. Это касается и вторжения в сферу биологии, биофизики и биотехнологии, особенно в области конвергенции органических и неорганических соединений.